Специалисты ОАО «МИНСКИЙ НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ» разработали и изготовили высокоточный датчик угла наклона

На базе микроэлектромеханических систем МЭМС-технологий специалистами ОАО «МИНСКИЙ НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ» разработан и изготовлен кремниевый датчик угла наклона с магнитоэлектрическим уравновешиванием.

Датчик представляет собой кремниевый чувствительный элемент, расположенный между двумя обкладками из стекла ЛК-5, с напыленными на них алюминиевыми площадками конденсатора.

Разрабатывая чувствительные элементы, инженеры института использовали кремний, что позволило обеспечить высокие технические характеристики микроэлектронных датчиков.

При создании чувствительных элементов была решена сложная задача обработки кремниевых пластин в соответствии с техническими требованиями для МЭМС.

Микрокатушки закреплены на подвижном чувствительном элементе через отверстия в стекле.

Разработано два типа плат с цифровым и аналоговым выводами информации.

Соединение и разварка элементов позволяет реализовать высокоточные датчики угла наклона со следующими характеристиками: при измерении углов диапазоне ±10˚ точность ±10 сек.

Элементы датчика собраны в корпус из сплава НК-29 или латуни.

Простота монтажа и разнообразие интерфейсов дает возможность использовать их не только на стационарных, но и на подвижных объектах в таких областях применения, как определение положения высотных сооружений, плотин, стволов шахт, платформ, определение величины прогибов и деформаций опор и балок мостовых и туннельных конструкций, контроль углов наклона автомобильных и железных дорог.

Инклинометры (датчики угла наклона) с электрическим выходным сигналом, пропорциональным углу наклона датчика имеют высокую точность, небольшие размеры, отсутствие подвижных механических узлов.

Инклинометры нашли применение в судостроении, в нефтедобывающей, перерабатывающей промышленности, в машиностроении, в системах безопасности и сигнализации. Кроме того, решаются такие технически сложные вопросы, как определение крена транспортных средств на суше и на воде, в том числе строительных и сельскохозяйственных машин.