Безопасность и общество Оздоровление Полезные ссылки MILEX-2017
En Слабовидящим

Разработка и изготовление чувствительных элементов и МЭМС-датчиков

Разработка и изготовление чувствительных элементов и МЭМС-датчиков

Специалисты ОАО "МИНСКИЙ НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ" могут провести ОКР/НИР в области разработки различных МЭМС-датчиков.

При разработке и изготовлении чувствительных элементов - основы интеллектуальных датчиков - используются современные технологии микромеханики:

- глубокое анизотропное и изотропное химическое травление кремния;

- прецизионное травление кремния;

- сварка «кремний-стекло»;

- технология создания высоколегированных р+ слоёв с концентрацией 1021см-3 как стоп-слоёв при создании мембран;

- технология соединения деталей МЭМС датчиков с помощью легкоплавкого стекла.

Указанные технологии используются при создании:

- датчиков ускорения до 10g компенсационного типа;

- датчиков угла наклона с погрешностью ±10 сек в диапазоне ±10˚;

- датчиков давления с погрешностью 0,08%;

- химических датчиков для определения Н2 и СО на уровне единиц ррm с мощностью потребления ≤ 10 мвт.

ОАО «МИНСКИЙ НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ» располагает современной технологической и производственной базой необходимой для проведения процесса 2-х сторонней фотолитографии на пластинах Ø76мм и Ø100мм, включая проведение всех сопутствующих операций связанных с процессом. А также имеет возможность и опыт применения 2-х сторонней фотолитографии для создания топологии различного уровня сложности, при изготовлении 2-х сторонних печатных плат.



Назад в раздел